|
SYSTÈME
INDUSTRIEL DESTINÉ
À LA PRESTATION ET
À LA FORMATION
À LA MÉTROLOGIE
SANS CONTACT |
Services proposés aux entreprises :
 | Mesures d'échantillons |
| Essais de faisabilité |
| Formation aux techniques de
métrologie optique sans contact |
|
|
Éléments facilitant la
compréhension du système :
|
Liens
vers le constructeur :
|
|
Microscope interférentiel Wyko NT 1100
Acquisition d'un
Étalon
de rugosité
Objectif 20X - FOV 1.0X - Mode VSI |
Principales caractéristiques techniques du
système :
|
Modes d'acquisition (logiciel Wyco
Vision32)
|
| VSI :
Vertical Scanning Interferometry |
La méthode utilise la
détection de l'enveloppe des franges d'interférence.
|
| PSI :
Phase Shifting Interferometry |
La méthode PSI
s'apparente au Moiré par projection de franges avec décalage de
phase. |
|
Résolution verticale
|
| Mode |
Mesure
unique |
Mesures multiples |
| PSI |
3
Å |
1
Å |
| VSI |
3 nm |
<1 nm |
|
Amplitude de mesure verticale
|
| Mode |
Amplitude verticale |
| PSI |
160 nm |
| VSI |
2 mm |
|
Champ d'observation en mm
|
|
Objectif |
5.0X |
10X |
20X |
50X |
| FOV
1.0X |
1.24x0.94 |
0.62x0.47 |
0.31x0.24 |
0.12x0.09 |
| FOV
0.5X |
2.47x1.88 |
1.24x0.94 |
0.62x0.47 |
0.25x0.19 |
FOV (Field Of View) : Lentille
d'élargissement du champ
|
|
Rayures à la surface d'une lentille
Objectif 20X - FOV 1.0X - Mode PSI
|
|
T.P. de métrologie |
|
|
Dossiers techniques |
|
Dernière mise à jour : Création de
la page. |
