Microscope interférentiel

Dernière mise à jour : jeudi 30 décembre 2021

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Mesure de déplacements
Déflecteurs Acousto-optique
Syst. de caractérisation de diodes laser
Bras Romer
Microscope interférentiel
Fibre optique

 

SYSTÈME DE MESURE ET CONTRÔLE

Thèmes abordés :
bulletFonction d'appareil
bulletSonde de cohérence et VSI (vertical scanning interferometry)
bulletProjection de franges et PSI (phase shifting interferometry)
bulletMesure de formes et rugosités
Éléments de cours facilitant la compréhension du système :
bullet Cours et T.P.
bullet TD en LP GPI MCQ
bullet Basics of interferometry
Liens :
bullet Veeco
bullet Wyko NT 1100

 

Microscope interférentiel Wyko NT 1100

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Acquisition avec objectif de Mirau X 20

Plan du T.P. :

bullet

Analyse fonctionnelle du système

- Fonction d'appareil

- Techniques de mesure VSI et PSI

bullet

Mise en oeuvre du système

- Etalonnage

- Mesures de profils

- Mesures de rugosités

bullet

Analyse des performances du système

- Etude de courbures, de stries, de rugosités

- Calibration en PSI et VSI

- Performances : justesse, reproductibilité, résolution

Logiciel VSI_PSI. Ex : Mode PSI avec un interféromètre de Michelson

Image phasée

Image masque

Image démodulée

Visualisation 3D

Sujet de T.P. et de compte-rendu : Tp.pdf, Cr.pdf
Dossier technique : Dt.pdf
Fichier spécifique :  microinterf.xls (Fichier au format zip)
Dernière mise à jour : microinterfer.xls

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